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催化燃烧处理装置的效率在适当温度（350℃左右）下可达到 95%以上，入口废气的浓度不同处理效率有所不同，浓度越高处理效率越高[3]。影响处理效率的原因包括：（1）催化剂中毒（附有硫、磷、硅等的化合物）；（2）温度过低，催化剂活性不足。
当处理废气中附有容易使催化剂中毒的物质时，可在催化剂室前设置前处理设备，即增加前处理催化剂。工程中常 采纳蜂窝状的陶瓷类前处理剂来去除硫等物质。一样，废气的组成不同，前处理剂的挑选也不同。另外，当温度过低时，氧化催化剂对废气中 VOCs 的氧化效率会大幅减弱，所以需要在装置中设置热电偶及传感器，使即时温度能及时显示在 PLC 盘柜显示屏中，并设置低温轻故障警报，当温度过低时自动点燃燃烧加热器进行升温。
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